中科院苏州纳米所：纳米真空互联实验站二期建设项目通过验收环球微资讯

2023-02-20 05:47:35 光明网-《光明日报》

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光明日报苏州2月19日电（记者苏雁）2月18日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站二期建设项目顺利通过总验收。

据悉，纳米真空互联实验站是中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所（以下简称“中科院苏州纳米所”）按世界首个国家重大科技基础设施标准在建的，集材料原位生长、器件加工、测试分析为一体的材料领域重大科学装置。真空互联实验站面向国家战略需求和科学前沿重大问题，开创一条变革性的技术路线，将材料生长、器件工艺、测试分析通过超高真空管道有机互联在一起，突破常规超洁净环境下，独立分散设备难以突破的材料本征特性、原子级精准调控、表/界面调控和异质集成、器件原位制造等局限，为国家战略材料和前沿材料领域研究提供重要建制化、体系化大科学装置的支撑。

中科院苏州纳米所纳米真空互联实验站由中国科学院、江苏省、苏州市以及苏州工业园区共同投资建设。自2014年4月开始，通过两期建设，目前近40台各种大型工艺设备通过203米长的超高真空管道互联，已建成材料制备与工艺、微观机理准原位分析、跨尺度性能测试、气氛可控和真空互联控制与对接系统等五大模块平台。

现场，来自中国科学技术大学、中科院化学研究所、中科院苏州医工所等单位的专家组成验收专家组，对二期建设项目进行了现场鉴定，并一致同意通过验收。

自2019年试运行起，至2022年底，实验站累计开展合作课题651个，服务用户数量220多家，逐步建立了以苏州工业园区为中心，立足江苏省，辐射长三角地区，延伸海内外的用户科研服务体系。

中科院苏州纳米所党委副书记、副所长王强斌表示，作为科研国家队，通过前沿科技的引领和实验站等重大系统性平台的支撑建设，形成在电子信息、生物医学和先进材料方面的创新引领优势。纳米真空互联实验站三期的建设，将进一步加强真空互联实验站的多功能性和不可替代性。我们未来的建设目标，是建设成为国际上最先进的纳米材料与器件原位综合研究平台，提供从基础研究原始创新、核心技术突破到产业化的全链条支撑。

《光明日报》（ 2023年02月20日 08版）

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